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无尘车间内应设置气体泄漏报警装置


无尘车间内应设置气体泄漏报警装置

  l、易燃、易爆、有毒气体的储存分配间;

  2、易燃、易爆、有毒气体的气瓶柜和分配阀门箱内;等级要求严格和连续运转、高纯物质供应町靠和连续,这些都对无尘车间的电力供应提出了连续甚至不间断供应和电压稳定性要求。

 据不完全统计,近年来设计的大规模集成电路芯片制造工厂、TFT-LCD制造工厂中,均要求电力供应中设置备用发电机组。

  供应有特殊要求的生产工艺设备和公用动力设备等所需电力,应急发电机供应电力的能力约占全厂装设功率的2%~15%,不间断电源的电力供应能力占全厂装设功率的1%~15%;

  一些大规模集成电路芯片制造工厂的应急发电装置设有8~12台,单台发电能力1500-2000 kW。

 

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